ความสามารถในการเกิดปฏิกิริยานั้นแข็งแกร่ง เมื่อมีน้ำและออกซิเจนจะทำปฏิกิริยากับวัสดุไฟฟ้าและน้ำต่อไป จึงสลายตัวเพื่อผลิตก๊าซพิษหรือมีพิษสูง ก๊าซพิษเหล่านี้ทำลายระบบทางเดินหายใจของร่างกายมนุษย์เป็นส่วนใหญ่ หลังจากได้รับพิษจะเกิดอาการไม่พึงประสงค์ เช่น เป็นหวัด ภูมิแพ้ผิวหนัง คลื่นไส้ อาเจียน อ่อนเพลีย เป็นต้น เมื่อสูดดมในปริมาณมากจะเกิดผลร้ายแรงขึ้น
ดังนั้น ต้องใช้มาตรการป้องกันต่อไปนี้ระหว่างการบำรุงรักษาและการทดสอบอุปกรณ์ SF6:
(1) สถานที่ทำงานต้องมีอากาศถ่ายเทสะดวก และเจ้าหน้าที่ซ่อมบำรุงต้องอยู่ในตำแหน่งทิศลม
(2) สวมหน้ากากป้องกันแก๊สพิษและถุงมือป้องกัน
(3) นำก๊าซที่ปล่อยออกมากลับคืนมา หรือปล่อยก๊าซลงสู่ท่อน้ำทิ้งด้วยท่อร้อยสาย แทนที่จะปล่อยออกสู่บรรยากาศโดยตรง
(4) ก่อนพักหรือหลังเลิกงาน ล้างหน้า คอ แขน และมือด้วยสบู่และน้ำปริมาณมาก
(5) ในกรณีที่สัมผัสกับก๊าซในปริมาณมากโดยไม่ได้ตั้งใจ ให้ล้างทันที เปลี่ยนเสื้อผ้า และไปโรงพยาบาลเพื่อรับการสังเกตและรักษาให้ทันเวลา