1. ลดความจุของฉนวน
ก๊าซ SF6 มักใช้เป็นสื่อฉนวนในระบบไฟฟ้า แต่เมื่อความชื้นสูงเกินไป ความชื้นจะสลายตัวบางส่วนเป็นสารเช่น HF และ SO2 ส่งผลให้ความสามารถในการเป็นฉนวนของก๊าซลดลงและส่งผลต่อความปลอดภัย การทำงานของอุปกรณ์ไฟฟ้า
2. ทำให้เกิดการกัดกร่อน
ความชื้นที่มีอยู่ในก๊าซ SF6 รวมตัวกับองค์ประกอบอื่นๆ เพื่อสร้างกรดซัลฟิวริก ซึ่งมีฤทธิ์กัดกร่อนอย่างรุนแรงต่อวัสดุโลหะ และอาจทำให้เกิดการกัดกร่อนของท่อและวาล์วภายในในอุปกรณ์จัดเก็บก๊าซ ซึ่งส่งผลให้อายุการใช้งานของอุปกรณ์ลดลง
3. ผลกระทบต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซ
ก๊าซ SF6 ที่มีปริมาณน้ำสูงอาจส่งผลต่อความบริสุทธิ์ จึงส่งผลต่อประสิทธิภาพของการใช้ก๊าซ ตัวอย่างเช่น ในระหว่างกระบวนการดับอาร์ค น้ำและสิ่งเจือปนอื่นๆ ในก๊าซจะถูกให้ความร้อนและย่อยสลาย ทำให้เกิดโมเลกุลของก๊าซและอนุมูลอิสระจำนวนมาก สารเหล่านี้จะก่อให้เกิดการปั่นป่วนในก๊าซ ลดการอาร์คดับผล
4. เป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์
สารเช่น HF และ SO2 ที่มีอยู่ในก๊าซ SF6 สามารถก่อให้เกิดอันตรายต่อร่างกายมนุษย์ได้ HF เป็นกรดแก่ที่หากสูดดมมากเกินไปอาจทำให้เกิดอาการต่างๆ เช่น การระคายเคืองต่อระบบทางเดินหายใจและปอดบวมน้ำ SO2 เป็นก๊าซพิษที่สามารถก่อให้เกิดอันตรายต่อระบบทางเดินหายใจ ดวงตา และผิวหนังเมื่อสัมผัสเป็นเวลานาน ดังนั้นหากก๊าซ SF6 มีความชื้นมากเกินไป จะทำให้เกิดการผลิตสารเหล่านี้ได้ง่ายและเป็นภัยคุกคามต่อสุขภาพของมนุษย์